Vibration isolator for supporting a payload
AssigneesCarl Zeiss SMT GmbH, ASML Netherlands B.V.
InventorsAlexander Petrus Josephus Van Lankvelt, Michiel Vervoordeldonk, Pavel Kagan, Marc Wilhelmus Maria Van Der Wijst, Galip Tuna Turkbey, Marco Huiskamp, Ulrich Schoenhoff
Life of this patent
Estimating the term…